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CVD氣相沉積系統(tǒng)
  • 1200℃三路供氣低真... 1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為風(fēng)冷法蘭,摩擦傳動,傾角(0-15°)任意可調(diào)。...
  • 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行...
  • 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行...
  • 1200℃單溫區(qū)3路浮... 1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行...
  • 1200℃單溫區(qū)3路浮... 1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行...
  • 1200℃單溫區(qū)三通道... 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計(jì)組成。1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)管式爐由精密...
  • 全自動CVD滑軌爐 全自動CVD滑軌爐系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;四路質(zhì)...
  • 1200℃三溫區(qū)三通道... 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計(jì)組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過調(diào)...
  • 1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自... 1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動進(jìn)出料CVD系統(tǒng)安裝有投料器和收料罐。1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動進(jìn)出料CVD系統(tǒng)投料器可以以額定速...
  • 兩通道CVD系統(tǒng) 本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計(jì)并配有雙極旋片泵、水冷機(jī)、數(shù)字真空計(jì)且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實(shí)驗(yàn)。
  • 1200℃三通道CVD... 該套CVD系統(tǒng)主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發(fā)生器四大部分構(gòu)成??梢詽M足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要...
  • 三溫區(qū)1600 CVD... 該三溫區(qū)1600 CVD系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)
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