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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
詳情介紹:

1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以混合1~3路氣體,較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-CVD1200-50-400-3TH-Q

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

50mm(可選配60mm80mm、100mm

爐管長度

800mm

爐膛長度

440mm

加熱區(qū)長

400mm

恒溫區(qū)長

200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-3F

氣體通道

3通道

測量部件

氣體浮子流量計(jì)

測量量程

A通道:0100ml/min    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

測量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

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