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凈化型勻膠機(jī)特點(diǎn)：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止
勻膠過程中的雜質(zhì)污染。
2、 設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設(shè)置時間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)
5、采用無刷伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
6、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹，便于清洗。
7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
8、透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出有效
隔絕有毒氣味的散發(fā)。
9、前面板設(shè)置有電動玻璃屏升降按鈕，可電動升降前擋玻璃板。
主要技術(shù)參數(shù)：
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勻膠時間 |
1-99秒 |
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勻膠轉(zhuǎn)數(shù) |
0-8000轉(zhuǎn)/分 |
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操作區(qū)風(fēng)速 |
0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
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凈化效果 |
100級（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)） |
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外形尺寸 |
650x750x1620mm |
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外體顏色 |
亞白色 |
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控制范圍和精度 |
轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3% |
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時間控制范圍為 |
1-99秒，精度為±5% |
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轉(zhuǎn)速調(diào)整 |
采用PID調(diào)節(jié)，精度高 |
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轉(zhuǎn)速查看智能化 |
可自動識別哪個電機(jī)開或關(guān)，自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上。可予先選定，也可在運(yùn)行中隨時查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速 |
